郑州科探仪器设备有限公司
科探仪器设备等离子清洗机属于13.56KHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。 该清洗机内置不高纯石英仓体,容积为2升,结构为国际上的通用结构。采用了新型的外观设计技术和固态电源自动匹配技术,使其有效容积增大,控制频率稳定。有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一键式操作,特别适用科学实验和教学。 供电电源 AC220V(AC110V可选) 工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) 射频电源功率 150W 射频频率 13.56MHz(偏移量小于0.2KHz) 频率偏移量 小于0.2MHz 特性阻抗 50欧姆,自动匹配 真空度 ≤100Pa 腔体材质 高纯石英 腔体容积 2L(内径110MMX深度220MM) 观察窗内径 Φ70 气体流量 10—100ml/min(其他量程可选) 过程控制 继电器自动控制方式 真空度 10-100PA可调 清洗时间 0-30分可调 开盖方式 铰链侧开式 外形尺寸 400x380x360mm 重量 18Kg 真空泵 KT-2C型 真空室温度 小于65°C 冷却方式 强制风冷 标配 KT-2C真空泵1台,连接软管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个。
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