测量原理
测量基准
海德汉光学扫描的直线光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线-光栅
这些光栅刻在玻璃或钢材基体上 ,对于大长度的光栅尺,用钢带作为光栅尺基体 , 海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺制造***光栅 ,
? AURODUR:在镀金钢尺带上蚀刻栅线;典型栅距:40 ?m ,
? metaLLUR:抗污染的镀金层金属栅线;典型栅距:20 μm ,
? DIADUR:玻璃基体上超硬铬线(典型栅距:20 μm)或玻璃基体上三维铬线格栅(典型栅距:8 μm) ,
? SUPRADUR相位光栅:光学三维平面格栅;抗污能力;典型栅距:不超过8 μm ,
? OPTODUR相位光栅:光学三维平面格栅,***反光性能;典型栅距:不超过2 μm ,
除极小栅距外,由该工艺刻制的光栅拥有***的边缘清晰度和均匀性 ,结合光电扫描法,边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键 , 母版光栅采用海德汉公司定制的***刻线机制造
光电扫描
海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原理,光电扫描在工作中无接触,因此无磨损 ,光电扫描可以检测到非常细小的光栅,栅线宽度可仅数微米,并能输出非常细小的信号周期信号 ,测量基准的栅距越小,光电扫描的衍射现象越严重 ,海德汉直线光栅尺采用两种扫描原理:
? 成像扫描原理用于20 ?m至大约40 ?m的栅距 ,
? 干涉扫描原理用于更小栅距的光栅,例如,8 ?m